雙頻激光干涉檢測儀設備

中圖儀器雙頻激光干涉檢測儀設備具有完整的自主知識產權，穩頻精度≤0.04ppm，測量精度0.5ppm，測量距離達80米。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3d打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。

產品優勢

1、精度高

sj6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

2. 功能廣

可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

支持手動或自動進行環境補償。

3. 軟件強

友好的人機界面；

豐富的應用功能模塊；

向導式的操作流程；

簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業專屬模板定制。

中圖儀器雙頻激光干涉檢測儀設備可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數控機床、自動化設備、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數控機床、三坐標測量機的精度補償。

測量機床直線度

測量機床偏擺角度

回轉軸精度測量

中圖儀器雙頻激光干涉檢測儀設備主要由sj6000激光干涉儀主機、角度鏡組、wr50自動精密轉臺、sj6000回轉軸測量軟件構成。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。測量分辨率可達0.01″，系統測量精度為±1″，基準wr50自動精密轉臺重復精度為0.2″。