白光干涉三維輪廓儀

白光干涉三維輪廓儀利用光學干涉原理，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點。

產品功能

(1)白光干涉三維輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

部分技術指標

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

白光干涉三維輪廓儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3c電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、mems器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

性能特色

1、高精度、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密z向掃描模塊和優異的3d重建算法組成測量系統，保證測量精度高；

2）隔振系統，能夠有效隔離頻率2hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重復性；

2、環境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環境噪聲數據作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成x、y、z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件zstop設置z向位移下限位進行防撞保護外，另在z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

白光干涉儀的自動拼接測量功能，不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結構，當要測量超出適配鏡頭下的單視場區域的時候，可以根據不同表面特點進行重建算法的切換。